不朽情缘

搜索
您现在的位置:
首页
-
-
什么是特种高纯气体?有哪些详细类型?

什么是特种高纯气体?有哪些详细类型?

  • 分类:新闻资讯
  • 作者:
  • 泉源:
  • 宣布时间:2022-04-24
  • 会见量:0

【提要形貌】在大规模集成电路制造业中 ,气体的应用很是普遍 ,约占所有生产质料的三分之一。其中 ,种种生产历程中使用的气体 ,尤其是与硅片直接接触的气体 ,一样平常称为特种高纯气体或高纯电子级气体。这种气体的特点是纯度高 ,危险性大。由于之前的化学气相沉积、刻蚀、离子注入、外延等制造工艺 ,气体中有害杂质的浓度直接影响芯片的良率。现在大大都特种高纯气体的纯度应抵达99.99%以上。

什么是特种高纯气体?有哪些详细类型?

【提要形貌】在大规模集成电路制造业中 ,气体的应用很是普遍 ,约占所有生产质料的三分之一。其中 ,种种生产历程中使用的气体 ,尤其是与硅片直接接触的气体 ,一样平常称为特种高纯气体或高纯电子级气体。这种气体的特点是纯度高 ,危险性大。由于之前的化学气相沉积、刻蚀、离子注入、外延等制造工艺 ,气体中有害杂质的浓度直接影响芯片的良率。现在大大都特种高纯气体的纯度应抵达99.99%以上。

  • 分类:新闻资讯
  • 作者:
  • 泉源:
  • 宣布时间:2022-04-24
  • 会见量:0
详情

  在大规模集成电路制造业中 ,气体的应用很是普遍 ,约占所有生产质料的三分之一。其中 ,种种生产历程中使用的气体 ,尤其是与硅片直接接触的气体 ,一样平常称为特种高纯气体或高纯电子级气体。这种气体的特点是纯度高 ,危险性大。由于之前的化学气相沉积、刻蚀、离子注入、外延等制造工艺 ,气体中有害杂质的浓度直接影响芯片的良率。现在大大都特种高纯气体的纯度应抵达99.99%以上。


高纯气体


  随着集成电路制造手艺的一直提高 ,对气体纯度的要求越来越高 ,有些气体需要进一步提纯 ,才华使纯度抵达9.999%以上。同时 ,特种气体大多还具有高压、易燃、高侵蚀性、高毒性的特点 ,因此对装载特种高纯气体的气瓶和阀门有较高的清静要求。

  常用的特种高纯气体有30多种 ,按其化学性子可分为以下三类气体。

  烷烃气体:大大都烷烃气体由金属或非金属氢化物组成 ,如硅烷(SiH ,)磷烷(PH ,)砷烷(AsH ,)锗烷(GeH2)等。其化学式可用M.H ,或M ,H ,X体现 ,其中M代表金属或非金属 ,H代表氢 ,X代表其他官能团。在温顺的温度和能量条件下 ,这种气体不但可以剖析或反应成薄膜并掺杂所需组分 ,并且爆发的氢气和挥发性副产品可以很容易地从硅片外貌除去 ,不会对硅片和生产装备的物理化学和电学性能爆发倒运影响。因此 ,烷烃气体特殊适用于化学气相沉积、扩散和离子注入。

  卤化物气体:含有氟(f)、氯(CI)、溴(br)和碘(I)的气体称为卤化物气体。由于集成电路中使用的大大都卤化物是含氟气体 ,以是这些气体通常被称为氟化物气体或含氟气体。这种气体的特点是卤族元素的化学反应性强。在高温或电场条件下 ,卤化物气体爆发的等离子体和自由基会与硅、二氧化硅、氮化硅、金属等质料反应天生响应的气体 ,从硅片外貌和机腔中去除。因此 ,这种气体特殊适用于干洗和蚀刻工艺。现在 ,洗濯工艺中使用的气体主要有NF3、SF6、CF4、C2F6、C3F8和CIF3蚀刻历程中使用的气体种类许多 ,大部分是氟碳化合物 ,如CF4、CHF3、CH3F、CH2F、C2F6、C4F6、C4F8、C5F8等。氟碳比是这种蚀刻气体的主要参数。通过调理氟碳比 ,刻蚀速率、选择性、各向异性和匀称性都可以知足刻蚀工艺的要求。

  其他气体:除了烷烃和卤化物 ,尚有其他在化学性子上不可归入烷烃和卤化物的气体、外延工艺中使用的SiCl4、SiHCl3、SiH2Cl2和pcl3以及集成电路光刻装备的激光器中使用的气体。这些气体的用途各异 ,可是高纯气体的纯度要求、清静包装和操作要求与烷类气体和卤化物气体基本一致。


要害词:

扫二维码用手机看

推荐新闻

不朽情缘

效劳热线: 

公司地点:

烟台市福山高新手艺工业区不朽情缘街158号

不朽情缘气体

版权所有:不朽情缘       鲁ICP备14030236号       网站建设:中企动力烟台

【网站地图】【sitemap】